H62 系列六軸壓電納米定位臺(tái)，是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)，通過(guò)六支壓電促動(dòng)器的協(xié)調(diào)伸縮實(shí)現(xiàn)空間內(nèi)六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，臺(tái)體結(jié)構(gòu)緊湊，三種規(guī)格型號(hào)可供選擇，閉環(huán)型號(hào)定位精度高，是六自由度微操作、微電子精密加工等應(yīng)用。